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摘要:
采用电喷雾质谱(ESI-MS)技术和气相色谱质谱联用(GC-MS)技术,确定硅片线切割液中含有二甘醇和聚乙二醇(PEG 400).分别采用高效液相色谱法(HPLC)、气相色谱法(GC)和气相色谱-质谱联用法(GC-MS)检测其中二甘醇含量.以甲醇-水(50∶50 v/v)为流动相,Kromasil 100-C18为色谱柱,在所选用的HPLC条件下不能将二甘醇和其他组分分开,故不适用于二甘醇定量分析.采用GC内标法(正丁醇为内标物)、GC-MS外标法和GC-MS面积归一法的检测结果在一定误差范围内基本一致,说明3种方法均可行,可根据仪器设备条件选择.
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文献信息
篇名 含二甘醇硅片线切割液分析方法研究
来源期刊 太阳能学报 学科 地球科学
关键词 二甘醇 硅片切割液 气相色谱内标法 气-质联用外标法 气-质联用面积归一法
年,卷(期) 2012,(10) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1751-1755
页数 5页 分类号 N34
字数 3146字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 周永生 常州大学石油化工学院 42 171 7.0 11.0
2 王平 3 4 1.0 2.0
3 顾浩 常州大学石油化工学院 28 42 3.0 4.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
二甘醇
硅片切割液
气相色谱内标法
气-质联用外标法
气-质联用面积归一法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
太阳能学报
月刊
0254-0096
11-2082/TK
大16开
北京市海淀区花园路3号
2-165
1980
chi
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7068
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77807
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