双层侧向位置敏感探测器的畸变研究

• 作者: 暴敏 李田泽 盛翠霞 赵云凤 赵敬 赵艳雷
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 双层光电位置敏感器件 三层前置反馈网络 双极脉冲滤波 空间非线性 畸变
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 779-782
• 分类号: TN36
• 语种: 中文

摘要

阐述了半导体光电位置敏感器件双层结构、特点,在此基础上,利用三层前置反馈网络对光电位置敏感器件的空间非线性以及畸变产生的机理进行了分析,尤其是对在位置敏感器件边缘的非线性作了分析研究;提出了一种适于位置敏感器件的敏感前置放大器电路和产生双极脉冲的分光滤波器;通过实验模拟,验证了上述理论和方法的正确性,并对双层结构的位置敏感器件在精密探测中的应用作了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李田泽	山东理工大学现代光电技术研究所	79	290	10.0	12.0
2	赵艳雷	山东理工大学现代光电技术研究所	45	448	12.0	20.0
3	盛翠霞	山东理工大学现代光电技术研究所	13	69	6.0	8.0
4	暴敏	山东理工大学现代光电技术研究所	4	4	1.0	1.0
5	赵敬	山东理工大学现代光电技术研究所	4	29	2.0	4.0
6	赵云凤	山东理工大学现代光电技术研究所	7	34	3.0	5.0