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InGaAs探测器片上集成滤光膜的微结构与性能
InGaAs探测器片上集成滤光膜的微结构与性能
作者:
刘定权
唐恒敬
李雪
段微波
王云姬
龚海梅
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
探测器
法布里-珀罗滤光膜
热蒸发法
三谐振腔
摘要:
为了适应未来红外焦平面探测器系统小型化、集成化和高精度的发展要求,采用了热蒸发方法分别在InP衬底和InGaAs探测器上实现了中心波长为1.38 μm滤光膜的片上集成.利用偏光显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)以及红外傅里叶光谱(FTIR)等实验手段研究了滤光膜的表面界面形貌和光学性能,结果显示,滤光膜为法布里珀罗三谐振腔结构,与膜系设计一致;滤光膜中心波长为1.38 μm,透射率在60%左右.对集成滤光膜InGaAs器件的电学和光学性能测试分析表明,滤光膜制备工艺对器件的电流电压特性和噪声基本没有影响;而集成滤光膜器件的响应要优于滤光膜分离器件的性能.
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内容分析
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关键词热度
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文献信息
篇名
InGaAs探测器片上集成滤光膜的微结构与性能
来源期刊
中国激光
学科
物理学
关键词
探测器
法布里-珀罗滤光膜
热蒸发法
三谐振腔
年,卷(期)
2012,(5)
所属期刊栏目
薄膜
研究方向
页码范围
179-182
页数
4页
分类号
O484
字数
语种
中文
DOI
10.3788/CJL201239.0507002
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
龚海梅
中国科学院上海技术物理研究所
69
451
10.0
18.0
2
刘定权
中国科学院上海技术物理研究所
49
176
8.0
12.0
3
段微波
中国科学院上海技术物理研究所
10
21
3.0
4.0
4
李雪
中国科学院上海技术物理研究所
64
465
12.0
19.0
5
唐恒敬
中国科学院上海技术物理研究所
7
4
1.0
2.0
6
王云姬
中国科学院上海技术物理研究所
1
0
0.0
0.0
传播情况
被引次数趋势
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(/年)
引文网络
引文网络
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(0)
共引文献
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节点文献
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同被引文献
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二级引证文献
(0)
1996(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2000(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2004(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2005(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2009(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2012(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
探测器
法布里-珀罗滤光膜
热蒸发法
三谐振腔
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
主办单位:
中国光学学会
中科院上海光机所
出版周期:
月刊
ISSN:
0258-7025
CN:
31-1339/TN
开本:
大16开
出版地:
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
邮发代号:
4-201
创刊时间:
1974
语种:
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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