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摘要:
为了适应未来红外焦平面探测器系统小型化、集成化和高精度的发展要求,采用了热蒸发方法分别在InP衬底和InGaAs探测器上实现了中心波长为1.38 μm滤光膜的片上集成.利用偏光显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)以及红外傅里叶光谱(FTIR)等实验手段研究了滤光膜的表面界面形貌和光学性能,结果显示,滤光膜为法布里珀罗三谐振腔结构,与膜系设计一致;滤光膜中心波长为1.38 μm,透射率在60%左右.对集成滤光膜InGaAs器件的电学和光学性能测试分析表明,滤光膜制备工艺对器件的电流电压特性和噪声基本没有影响;而集成滤光膜器件的响应要优于滤光膜分离器件的性能.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 InGaAs探测器片上集成滤光膜的微结构与性能
来源期刊 中国激光 学科 物理学
关键词 探测器 法布里-珀罗滤光膜 热蒸发法 三谐振腔
年,卷(期) 2012,(5) 所属期刊栏目 薄膜
研究方向 页码范围 179-182
页数 4页 分类号 O484
字数 语种 中文
DOI 10.3788/CJL201239.0507002
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 龚海梅 中国科学院上海技术物理研究所 69 451 10.0 18.0
2 刘定权 中国科学院上海技术物理研究所 49 176 8.0 12.0
3 段微波 中国科学院上海技术物理研究所 10 21 3.0 4.0
4 李雪 中国科学院上海技术物理研究所 64 465 12.0 19.0
5 唐恒敬 中国科学院上海技术物理研究所 7 4 1.0 2.0
6 王云姬 中国科学院上海技术物理研究所 1 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
探测器
法布里-珀罗滤光膜
热蒸发法
三谐振腔
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
月刊
0258-7025
31-1339/TN
大16开
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
4-201
1974
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导