InGaAs探测器片上集成滤光膜的微结构与性能

• 作者: 刘定权 唐恒敬 李雪 段微波 王云姬 龚海梅
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 探测器 法布里-珀罗滤光膜 热蒸发法 三谐振腔
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 179-182
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0507002

摘要

为了适应未来红外焦平面探测器系统小型化、集成化和高精度的发展要求,采用了热蒸发方法分别在InP衬底和InGaAs探测器上实现了中心波长为1.38 μm滤光膜的片上集成.利用偏光显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)以及红外傅里叶光谱(FTIR)等实验手段研究了滤光膜的表面界面形貌和光学性能,结果显示,滤光膜为法布里珀罗三谐振腔结构,与膜系设计一致；滤光膜中心波长为1.38 μm,透射率在60％左右.对集成滤光膜InGaAs器件的电学和光学性能测试分析表明,滤光膜制备工艺对器件的电流电压特性和噪声基本没有影响；而集成滤光膜器件的响应要优于滤光膜分离器件的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚海梅	中国科学院上海技术物理研究所	69	451	10.0	18.0
2	刘定权	中国科学院上海技术物理研究所	49	176	8.0	12.0
3	段微波	中国科学院上海技术物理研究所	10	21	3.0	4.0
4	李雪	中国科学院上海技术物理研究所	64	465	12.0	19.0
5	唐恒敬	中国科学院上海技术物理研究所	7	4	1.0	2.0
6	王云姬	中国科学院上海技术物理研究所	1	0	0.0	0.0