倒锥形抗反射表面微结构的构筑

• 作者: 郝娟婷 郝娟媛 阿大澄
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 化学
• 关键词: LB单层膜 倒锥形微结构 单晶硅 抗反射
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 物理化学
• 页码范围: 361-364
• 分类号: O647
• 字数: 1997字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0251-0790.2012.02.026

摘要

利用Langmuir-Blodgett( LB)技术在单晶硅表面转移岛状硬脂酸单层膜图案,通过各向异性的湿法刻蚀构筑倒锥形表面微结构.倒锥形结构的深度及表面抗反射性能主要与刻蚀的时间有关.这种方法结合了自组装面积大和湿法刻蚀成本低的优点,是一种廉价、高效的制备大面积抗反射微结构的方法,在降低光学器件和太阳能电池的成本方面具有潜在应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝娟媛	吉林大学化学学院超分子结构与材料国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
2	郝娟婷	北京师范大学细胞增殖与调控教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0
3	阿大澄	北京师范大学细胞增殖与调控教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0