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摘要:
应用哈特曼-夏克(H-S)波前检测仪检测大数值孔径(NA)透镜时,需要采用纳米级针孔产生参考球面波前对H-S传感器进行标定.为了制作出满足要求的高质量针孔,本文对影响参考波前质量的各种要素进行了仿真计算和分析,以获得最优针孔加工参数.基于矢量衍射理论,在会聚高斯光束照射下,计算了针孔厚度和直径大小对衍射波前误差的影响,衍射波前中的像差成份、能量透过率、强度均匀性、针孔加工误差及光束相对针孔中心发生平移、离焦、倾斜时衍射波前误差的变化.分析计算显示,在NA为0.6时,为了使相对于理想球面波的波峰波谷值(P-V)偏差不大于0.005λ(λ=193 nm),在实际针孔的加工制作中,应选取材料铬,并取厚度200 nm,直径180 nm为适宜.
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文献信息
篇名 纳米级针孔矢量衍射波前误差分析
来源期刊 光学精密工程 学科 工学
关键词 光学检测 波前误差 会聚高斯光束 矢量衍射 Hartmann-Shack波前检测仪 时域有限差分法
年,卷(期) 2012,(3) 所属期刊栏目 现代应用光学
研究方向 页码范围 499-505
页数 分类号 O436|TQ171.65
字数 3555字 语种 中文
DOI 10.3788/OPE.20122003.0499
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 饶长辉 中国科学院光电技术研究所自适应光学国家重点实验室 114 890 16.0 22.0
2 饶学军 中国科学院光电技术研究所自适应光学国家重点实验室 19 397 10.0 19.0
3 王俐 中国科学院光电技术研究所自适应光学国家重点实验室 7 164 6.0 7.0
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研究主题发展历程
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光学检测
波前误差
会聚高斯光束
矢量衍射
Hartmann-Shack波前检测仪
时域有限差分法
研究起点
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研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
6867
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10
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