纳米级针孔矢量衍射波前误差分析

• 作者: 王俐 饶学军 饶长辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 波前误差 会聚高斯光束 矢量衍射 Hartmann-Shack波前检测仪 时域有限差分法
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 499-505
• 分类号: O436|TQ171.65
• 字数: 3555字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122003.0499

摘要

应用哈特曼-夏克(H-S)波前检测仪检测大数值孔径(NA)透镜时,需要采用纳米级针孔产生参考球面波前对H-S传感器进行标定.为了制作出满足要求的高质量针孔,本文对影响参考波前质量的各种要素进行了仿真计算和分析,以获得最优针孔加工参数.基于矢量衍射理论,在会聚高斯光束照射下,计算了针孔厚度和直径大小对衍射波前误差的影响,衍射波前中的像差成份、能量透过率、强度均匀性、针孔加工误差及光束相对针孔中心发生平移、离焦、倾斜时衍射波前误差的变化.分析计算显示,在NA为0.6时,为了使相对于理想球面波的波峰波谷值(P-V)偏差不大于0.005λ(λ=193 nm),在实际针孔的加工制作中,应选取材料铬,并取厚度200 nm,直径180 nm为适宜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	饶长辉	中国科学院光电技术研究所自适应光学国家重点实验室	114	890	16.0	22.0
2	饶学军	中国科学院光电技术研究所自适应光学国家重点实验室	19	397	10.0	19.0
3	王俐	中国科学院光电技术研究所自适应光学国家重点实验室	7	164	6.0	7.0