利用数字全息干涉术测量电路板的连续弯曲形变

• 作者: 付永辉 姜宏振 杨德兴 王骏 许增奇 赵建林 邵兆申
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 数字全息干涉术 离轴菲涅耳全息术 电路板 弯曲形变
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1789-1795
• 分类号: O438.1|TN407
• 字数: 2789字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122008.1789

摘要

采用离轴菲涅耳数字全息干涉术实现了对电路板表面的连续弯曲形变测量.在电路板两端依次施加0.01 mm至15 mm位移载荷过程中,记录了l 501幅全息图.通过相邻两幅全息图数值重建的复振幅相位分布相减得到干涉相位差,根据相位差与离面位移的关系计算得到照明测量区域的离面位移,通过累加获得了施加1～15 mm位移载荷时电路板表面的弯曲形变测量结果.由5块相同规格电路板上照明测量区域中同一电容中心点的离面位移,计算得到测量结果的A类不确定度不超过0.008 mm,加载夹具引起的测量结果的B类不确定度为0.003 5 mm,测量结果的合成不确定度不超过0.008 7 mm.实验表明这种利用离轴菲涅耳数字全息干涉术测量物体大位移连续弯曲形变的方法具有良好的重复性和稳定性.