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摘要:
本文介绍氧化锌薄膜的特性及应用前景.氧化锌是一种新型的宽禁带半导体材料其薄膜所具有的优异特性,在诸多领域有着广泛与有效的应用.
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文献信息
篇名 氧化锌薄膜的特性、制备及应用
来源期刊 科技视界 学科 工学
关键词 氧化锌薄膜 特性 p型掺杂 PVD CVD 制备 应用
年,卷(期) 2012,(5) 所属期刊栏目 科教前哨
研究方向 页码范围 45,6
页数 分类号 TN304.21
字数 2233字 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
氧化锌薄膜
特性
p型掺杂
PVD
CVD
制备
应用
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技视界
旬刊
2095-2457
31-2065/N
大16开
上海市
2011
chi
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