KOH湿法腐蚀中防金属腐蚀工艺研究

• 作者: 刘勐 刘欣 张威 郝一龙
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: KOH湿法腐蚀 微机电系统 PROTEK材料 体硅工艺
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 17-19
• 分类号: TP212
• 字数: 2671字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2012.07.005

摘要

介绍了一种采用PROTEK材料作为保护层,在MEMS器件体硅湿法腐蚀加工工艺中保护金属电极的新工艺.采用这种新的工艺可以在MEMS体硅工艺传感器的加工过程中,完成所有IC工艺的加工后再进行MEMS体硅工艺的加工.实验结果表明:采用这种新的材料进行KOH腐蚀工艺的金属表面保护,既可以提高工艺加工效率,又可以提高工艺加工质量.该工艺可以广泛应用于MEMS体硅工艺中KOH湿法腐蚀的工艺加工,也可以应用于光电子器件的工艺加工.