点衍射干涉仪波前参考源标定算法的研究

• 作者: 张宇 王丽萍 金春水 马冬梅
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 标定算法 波前参考源 相移点衍射干涉仪
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 171-177
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0308001

摘要

为了提高双光纤点衍射干涉仪的检测精度,需要对干涉仪装置中两个波前参考源(WRS)的系统误差进行标定.设计了波前参考源的标定过程及标定算法,通过沿被检光学系统光轴四次旋转90°求出波前参考源的沿轴旋转非对称误差,沿倾斜轴四次旋转90°求出波前参考源的沿倾斜轴旋转非对称误差,然后利用两者之差采用最小二乘法求出波前参考源的旋转对称误差,将对称误差和非对称误差相累加求出波前参考源的系统误差.采用计算机模拟了标定算法的整个流程,当波前参考源沿光轴和倾斜轴旋转的旋转公差在±1°范围内时,采用36项泽尼克多项式进行标定的测试误差均方根值小于0.01 nm,在标定精度允许的范围内.通过模拟验证了标定算法的正确性并给出波前参考源的旋转公差范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宇	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	212	2104	24.0	35.0
2	王丽萍	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	31	296	8.0	17.0
3	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	56	202	9.0	11.0
4	马冬梅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	48	388	11.0	15.0