双球面法标定立式参考球面的精度分析

• 作者: 苗二龙 谷勇强 隋永新
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 双球面法 立式参考球面 绝对测量 重力变形 Fizeau干涉仪
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 527-533
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3922字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122003.0527

摘要

采用双球面法对立式Fizeau干涉仪的参考球面进行标定以确定由重力、安装夹持力等导致的面形形变量,提高立式光学系统中光学元件的面形检测精度.首先,推导了双球面法标定算法；进而,理论分析和模拟计算了影响检测精度的环境、重力、安装夹持力等因素；最后,利用双球面法对立式Fizeau干涉仪的参考球面进行标定,并利用误差合成理论分析实验结果.实验结果显示,利用双球面法标定F/1.5的立式Fizeau干涉仪参考面的精度为2.3 nm.其中,算法本身以及实验操作引起的测量重复性不大于0.7 nm,包含环境误差时的重复性低于1.2 nm；重力导致的面形形变约为0.9 nm,标准镜安装导致的面形形变约为1.7 nm.结果论证了双球面法具有很高的标定精度；环境对检测精度的影响与干涉腔长度有关,长度增加时影响很明显；立式工作时,重力、安装等因素导致的标准镜参考球面的面形形变很大,在高精度使用前必须进行标定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	71	495	11.0	19.0
2	谷勇强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	40	3.0	6.0
6	苗二龙	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	18	37	4.0	6.0