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摘要:
提高精馏塔塔顶温度,在原料三氯氢硅中混入体积分数0.9%~20.3%的四氯化硅;调整了进入还原炉的混合气流量和硅棒温度,弱化了四氯化硅的加入对硅沉积速度的不利影响.显著降低了尾气组分中四氯化硅的含量,而多晶硅产品品质和沉积速度无明显变化.优化条件下,进气中STC质量分数从4.21%增加到18.11%,尾气中STC质量分数从32.05%减小到25.62%,尾气比进气中STC质量分数增加的倍率由6.61减小到0.41.
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文献信息
篇名 多晶硅生产原料中添加四氯化硅的工艺研究
来源期刊 现代化工 学科 工学
关键词 多晶硅 原料 添加 四氯化硅 尾气
年,卷(期) 2012,(7) 所属期刊栏目 工艺与设备
研究方向 页码范围 85-87
页数 分类号 TQ127.2
字数 1907字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.0253-4320.2012.07.023
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 方旭升 2 12 2.0 2.0
2 罗旭峰 2 12 2.0 2.0
3 何大伟 3 14 2.0 3.0
4 刘勇 1 6 1.0 1.0
5 陈吉 1 6 1.0 1.0
6 谢淼波 1 6 1.0 1.0
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现代化工
月刊
0253-4320
11-2172/TQ
大16开
北京安外小关街53号
082-67
1980
chi
出版文献量(篇)
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