多晶硅生产原料中添加四氯化硅的工艺研究

• 作者: 何大伟 刘勇 方旭升 罗旭峰 谢淼波 陈吉
• 来源期刊: 现代化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 原料 添加 四氯化硅 尾气
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 85-87
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 1907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-4320.2012.07.023

摘要

提高精馏塔塔顶温度,在原料三氯氢硅中混入体积分数0.9％～20.3％的四氯化硅；调整了进入还原炉的混合气流量和硅棒温度,弱化了四氯化硅的加入对硅沉积速度的不利影响.显著降低了尾气组分中四氯化硅的含量,而多晶硅产品品质和沉积速度无明显变化.优化条件下,进气中STC质量分数从4.21％增加到18.11％,尾气中STC质量分数从32.05％减小到25.62％,尾气比进气中STC质量分数增加的倍率由6.61减小到0.41.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方旭升		2	12	2.0	2.0
2	罗旭峰		2	12	2.0	2.0
3	何大伟		3	14	2.0	3.0
4	刘勇		1	6	1.0	1.0
5	陈吉		1	6	1.0	1.0
6	谢淼波		1	6	1.0	1.0