基于黑硅为吸收层的热电堆红外探测器

• 作者: 夏燕 欧文 薛晨阳 袁锋 赵利俊
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 黑硅 兼容性 热电堆 红外 MEMS
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 11-14
• 分类号: TP216
• 字数: 2556字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2012.03.005

摘要

基于黑硅对部分波长红外光的高吸收效率,结合红外探测器对吸收层材料的要求,针对以黑硅为红外吸收层的设计与测试进行了研究；设计采用工艺中刻蚀出现的“黑色”物质为吸收层材料,研究对不同波长红外光的吸收效率.根据红外基本理论,结合MEMS工艺可行性和兼容性设计一种微机械热电堆红外探测器,热偶对的排布位置进行上下设计；突破原有的硅衬底的释放困难和SOI衬底的成本过高的问题,提出一种氧化层上的多晶硅作衬底,最后器件以正面干法释放器件的方法,在提高探测器性能的同时节约成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛晨阳	中北大学电子测试国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
2	袁锋	中国科学院微电子研究所	12	239	8.0	12.0
3	欧文	中国科学院微电子研究所	27	81	6.0	7.0
4	夏燕	中北大学电子测试国家重点实验室	3	16	3.0	3.0
5	赵利俊	中国科学院微电子研究所	3	16	3.0	3.0