不同脉宽皮秒激光对介质膜损伤修复的热影响

• 作者: 张攀政 李学春 汪小超 熊智敏 范薇 黄大杰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 超快光学 多膜层光学元件损伤 扫描修复
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 69-76
• 页数: 8页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0803005

摘要

为了更深层次探究超短脉冲激光对惯性约束聚变(ICF)光学系统中常见的多膜层元件损伤修复性能以及特点,分别采用了240、35、6 ps的1053 nm激光脉冲在1053 nm 0°高反膜上进行了损伤修复以及损伤增长测试实验,并在1053 nm45°高反膜上进行了大损伤区域的扫描修复实验.通过比较不同脉宽的修复点形貌以及损伤增长阈值,说明了超短脉冲用于修复多膜层光学元件损伤的优越性,并且脉宽越短修复效果越好.多点脉冲扫描修复结果表明,可以通过三维控制系统来任意控制扫描修复点形貌以达到最佳修复状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范薇	中国科学院上海光学精密机械研究所	37	206	8.0	13.0
2	李学春	中国科学院上海光学精密机械研究所	40	182	9.0	12.0
3	黄大杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	0	0.0	0.0
4	汪小超	中国科学院上海光学精密机械研究所	7	5	1.0	2.0
5	张攀政	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	27	2.0	5.0
6	熊智敏	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0