基于圆形四象限光电探测器的条纹形状识别方法研究

• 作者: 刘文超 周浩 杨练根 王选择 翟中生
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 四象限光电探测器 条纹形状识别 数值积分 最小二乘椭圆拟合
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 080 测量与计量
• 页码范围: 181-187
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0708002

摘要

为了实现二维小角度的测量,采用压电陶瓷(PZT)驱动方式,获取运动的干涉条纹.利用数值积分法推导了理想干涉条纹下,条纹宽度、条纹方向角与光电探测器各象限信号相位的关系,解出了各象限相位等效点,并建立了激光光束夹角与条纹形状之间的模型.应用椭圆最小二乘拟合算法,实现了四象限探测器相位信息的有效提取,达到识别条纹宽度和方向角的目的.二维偏转角的测量实验结果表明,该方法能够满足对工作台角度偏转量等精密测量的要求,即使是在干涉条纹形状不规则、工作台运动频率不严格一致的环境下,对条纹形状的识别精度也很高,重复性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘文超		21	58	4.0	7.0
2	杨练根		35	114	6.0	9.0
3	王选择		53	208	8.0	11.0
4	翟中生		45	109	6.0	8.0
5	周浩		7	10	2.0	3.0