大口径反射元件环形抛光工艺

• 作者: 刘义彬 游云峰 谢磊 鄢定尧 马平
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 环形抛光 大口径反射元件 工艺优化 转速 槽形
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 激光与光通信
• 页码范围: 1687-1690
• 分类号: TG356.28
• 字数: 1348字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122407.1687

摘要

根据环形抛光的加工特点,研究了大口径反射元件的环形抛光加工工艺.在4m环抛机上进行了610 mm×440mm×85 mm的大口径反射元件加工工艺实验,研究了修正盘及工件盘转速与元件面形的关系、修正盘及工件盘位置与元件面形的关系、沥青盘槽形与元件面形的关系.研究结果表明,通过对修正盘及工件盘转速、修正盘及工件盘位置、沥青盘槽形等工艺参数的优化控制,能够得到大口径反射元件面形的高效收敛,元件最高面形精度优于λ/6(λ =632.8 nm),验证了加工工艺的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鄢定尧		10	56	4.0	7.0
2	刘义彬		5	34	3.0	5.0
3	马平		54	355	11.0	15.0
4	谢磊		4	17	2.0	4.0
5	游云峰		2	14	1.0	2.0