论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 基础科学期刊 \
- 物理学期刊 \
- 中国物理B(英文版)期刊 \
null
Characteristics and properties of metal aluminum thin films prepared by electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition technology
基本信息来源于合作网站，原文需代理用户跳转至来源网站获取
摘要：
推荐文章
期刊_丙丁烷TDLAS测量系统的吸收峰自动检测
带间级联激光器
调谐半导体激光吸收光谱
雾剂检漏 中红外吸收峰 洛伦兹光谱线型
不同盐度、温度及光照对漂浮浒苔生理生态的影响
浒苔
盐度
温度
光照
生理生态
期刊_联合空间信息的改进低秩稀疏矩阵分解的高光谱异常目标检测
高光谱图像
异常目标检测 低秩稀疏矩阵分解 稀疏矩阵 残差矩阵
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | Characteristics and properties of metal aluminum thin films prepared by electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition technology | ||
| 来源期刊 | 中国物理B（英文版） | 学科 | |
| 关键词 | aluminum plasma-assisted atomic layer deposition annealing | ||
| 年，卷（期） | 2012,（7） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 559-565 | |
| 页数 | 7页 | 分类号 | |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | 10.1088/1674-1056/21/7/078105 | ||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (95)
共引文献 (4)
参考文献 (4)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1969(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1972(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1982(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1991(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1992(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1993(2)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（2）
1995(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1996(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1997(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1998(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1999(4)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（4）
2001(2)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（2）
2002(4)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（4）
2003(4)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（4）
2004(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
2005(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
2006(2)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（2）
2007(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
2008(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
2009(3)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（3）
2010(2)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（2）
2011(3)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（3）
2012(8)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（8）
2013(5)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（5）
2014(4)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（4）
2015(8)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（7）
2016(4)
- 参考文献（2）
- 二级参考文献（2）
2017(30)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（30）
2018(1)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（0）
2012(8)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(8)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
aluminum
plasma-assisted atomic layer deposition
annealing
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国物理B(英文版)
主办单位：
中国物理学会和中国科学院物理研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1674-1056
CN：
11-5639/O4
开本：
出版地：
北京市中关村中国科学院物理研究所内
邮发代号：
创刊时间：
语种：
eng
出版文献量（篇）
17050
总下载数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
力学
化学
地球物理学
地质学
基础科学综合
大学学报
天文学
天文学、地球科学
数学
气象学
海洋学
物理学
生物学
生物科学
自然地理学和测绘学
自然科学总论
自然科学理论与方法
资源科学
非线性科学与系统科学
中国物理B(英文版)2022
中国物理B(英文版)2021
中国物理B(英文版)2020
中国物理B(英文版)2019
中国物理B(英文版)2018
中国物理B(英文版)2017
中国物理B(英文版)2016
中国物理B(英文版)2015
中国物理B(英文版)2014
中国物理B(英文版)2013
中国物理B(英文版)2012
中国物理B(英文版)2011
中国物理B(英文版)2010
中国物理B(英文版)2009
中国物理B(英文版)2008
中国物理B(英文版)2007
中国物理B(英文版)2006
中国物理B(英文版)2005
中国物理B(英文版)2004
中国物理B(英文版)2003
中国物理B(英文版)2002
中国物理B(英文版)2001
中国物理B(英文版)2000
中国物理B(英文版)1998
中国物理B(英文版)2012年第9期
中国物理B(英文版)2012年第8期
中国物理B(英文版)2012年第7期
中国物理B(英文版)2012年第6期
中国物理B(英文版)2012年第5期
中国物理B(英文版)2012年第4期
中国物理B(英文版)2012年第3期
中国物理B(英文版)2012年第2期
中国物理B(英文版)2012年第12期
中国物理B(英文版)2012年第11期
中国物理B(英文版)2012年第10期
中国物理B(英文版)2012年第1期
