浅谈氢化炉/还原炉电极的安装

• 作者: 徐鹏飞 杨光远
• 来源期刊: 科协论坛：下半月
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 电极 绝缘 定位 洁净度 气密性
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 工程技术与产业经济
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TK17
• 字数: 1319字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-3973.2012.09.011

摘要

从改良西门子法多晶硅生产系统来分析,氢化炉/还原炉是生产多晶硅的核心设备,也是决定系统产能、能耗、环保指标,以及可靠性、安全性的关键因素。氢化炉/还原炉是依靠炉筒边与炉底盘、电极与炉底盘密闭,炉内有三氯氢硅、氢气等易燃易爆的介质,在1100℃左右进行反应。电极是整个还原炉比较脆弱的地方,因此电极的安装一定要满足在高温高压腐蚀性气体的情况下运行。介绍了氢化炉/还原炉电极的特点、安装工艺和安装注意事项。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨光远		2	1	1.0	1.0
2	徐鹏飞		2	1	1.0	1.0