制备多模聚硅氧烷光波导关键技术的改进

• 作者: 冯向华 刘长海 季家镕 徐蓉 温昌礼 窦文华 门涛
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 光学设计 多模脊形波导 聚硅氧烷 浇铸法
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 207-212
• 分类号: O634.41
• 语种: 中文

摘要

本文利用浇铸法,使用M＆N胶和OE6450两种聚硅氧烷制备光波导.通过改进制备光波导的多个关键技术,解决了波导制备过程中的气泡问题、脱模问题、芯层不固化问题、芯层和覆盖层产生化学反应等难题,提出了比较完备和科学的聚硅氧烷波导制备工艺流程,从而使得波导的制备成品率从原来低于40%提高到高于80%,波导的最大长度从原来的21 cm增加到22.5 cm,波导的损耗（截断法测量结果）从最初的0.3dB/cm（850 nm）降低到了0.21dB/cm（850nm）.本文在波导制备技术方面具有重要的实际意义和价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	窦文华	国防科学技术大学光电科学与工程学院	62	978	18.0	30.0
2	刘长海		6	24	3.0	4.0
3	徐蓉		7	33	4.0	5.0
4	季家镕	国防科学技术大学光电科学与工程学院	11	64	3.0	8.0
5	温昌礼		1	2	1.0	1.0
6	冯向华	国防科学技术大学光电科学与工程学院	5	6	2.0	2.0
7	门涛		5	29	4.0	5.0