多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量玻璃厚度的方法

• 作者: 丛海芳 曲杨 李彦超 王春晖 高龙
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多光束激光外差 多普勒效应 傅里叶分析 非接触式测量
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 238-243
• 分类号: TN248.1
• 语种: 中文

摘要

本文提出了一种多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量玻璃厚度的新方法.基于激光外差技术和多普勒效应,通过做简谐振动的多普勒振镜对不同时刻入射光的频率进行正弦调制,把待测厚度信息加载到外差信号的频率差中,通过快速傅里叶变换对外差信号解调后可以同时得到多个待测玻璃厚度值,经加权平均处理可以提高待测厚度的测量精度.利用这种新方法,通过MATLAB仿真测量了不同玻璃厚度值,结果表明：该测量结果的最大相对误差小于0.008%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王春晖	哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国家级重点实验室	45	225	9.0	14.0
2	李彦超	哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国家级重点实验室	7	69	4.0	7.0
3	曲杨	哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国家级重点实验室	6	14	3.0	3.0
4	高龙	哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国家级重点实验室	10	64	3.0	8.0
5	丛海芳	哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国家级重点实验室	3	23	3.0	3.0