微惯性开关L型闭锁梁分析

• 作者: 周织建 席占稳 程建建 聂伟荣 黄庆武
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微惯性开关 L型闭锁梁 位移比 动态响应 结构稳定性
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 172-176,183
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.03.007

摘要

分析了目前微惯性开关中3种闭锁机构的基本工作原理.利用力学能量方法对L型闭锁机构的闭锁梁在主电极惯性力作用下的打开状态与闭锁状态的位移比,以及闭锁梁的动态位移进行了理论推导,进一步完善了此类闭锁机构的数学模型.在闭锁梁理论公式的推导过程中,利用ANSYS仿真软件对理论公式进行验证,并明确了理论公式的适用条件.分析结果表明,仿真值与理论值之间的相对误差小于5％,证明了理论公式的准确性.为提高L型闭锁梁的闭锁稳定性,分析主要结构参数对闭锁梁结构稳定性的影响,所得结果为L型闭锁机构的设计提供了重要的理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	席占稳	南京理工大学机械工程学院	39	202	8.0	13.0
2	聂伟荣	南京理工大学机械工程学院	52	260	9.0	12.0
3	周织建	南京理工大学机械工程学院	14	53	5.0	6.0
4	程建建	南京理工大学机械工程学院	7	31	4.0	5.0
5	黄庆武	南京理工大学机械工程学院	6	23	3.0	4.0