A Comparative Study of Dynamic Sheath Analytical Models of a Multispecies Plasma Immersion Ion Implantation System in Collisionless Regime

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A Comparative Study of Dynamic Sheath Analytical Models of a Multispecies Plasma Immersion Ion Implantation System in Collisionless Regime

作者：

Dushyant Gupta Jyotika Jogi P.J. George

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等离子体浸没离子注入

离子注入系统

模型估计

物种

碰撞

护套

政权

脉冲电压

摘要：

内容分析

关键词云

关键词热度

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篇名	A Comparative Study of Dynamic Sheath Analytical Models of a Multispecies Plasma Immersion Ion Implantation System in Collisionless Regime
来源期刊	材料科学与工程：中英文B版	学科	工学
关键词	等离子体浸没离子注入离子注入系统模型估计物种碰撞护套政权脉冲电压
年，卷（期）	2013,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	70-74
页数	5页	分类号	TN305.3
字数		语种
DOI