微机电系统在计量领域中的应用

• 作者: 王有忠
• 来源期刊: 精密制造与自动化
• 关键词: 微机电系统 计量 传感器
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 报道与评述
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 字数: 2586字
• 语种: 中文

摘要

MEMS技术的出现使得开发小型化、低成本、高安全性和高可靠性的计量仪器成为可能。微型机械电子系统(MEMS ，Microelectromechanical systems)是一种机械结构和电子设备在微米量级的集成化系统，体积小、重量轻，适合大批量生产，并能够实现机、电、热、光等多物理场器件组合等优点，非常适合计量系统的大批量生产和应用，将给计量技术的发展带来巨大的变革。通过微机电系统在计量领域中的应用，证明了 MEMS 已经拓展成为一种“使能技术(Enabling technology)”，这种技术可以将多种机、电、热、光等器件集成于一体，不但能感知和处理信息，还能通过机械机构的动作对系统进行控制，并且使系统结构体积缩小，重量降低，测量功能扩展，使计量技术产生了一个质的飞跃。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王有忠		4	2	1.0	1.0