基于MEMS的微位移传感器及其应用研究

• 作者: 傅星 孙凤鸣 张超 朱振宇 高赛
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS位移传感器 静电梳齿结构 微扫描探针测头 SPM应用
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 293-296
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1637字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.02.028

摘要

对一种基于MEMS技术的探针进行开发,以实现微纳米尺度下的几何量测量.该探针是静电梳齿型结构,含有定齿和连接有主梁的动齿.主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移,梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化.设计了测头的电容信号检测电路.搭建测试系统,利用该系统进行进针实验,标定测头的灵敏度为0.43 mV/nm,实验表明测头的非线性误差小于0.22％.利用该测头作为SPM测头,搭建小型SPM系统,对108 nm台阶高度的光栅结构进行了扫描.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙凤鸣	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	24	3.0	4.0
2	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
3	张超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	40	195	7.0	12.0
4	朱振宇		14	59	5.0	6.0