TFT-LCD制程中Zara点状不良的产生与改善研究

• 作者: 刘华 王海成 董天松 郑英花
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: TFT-LCD Zara点状不良 聚酰亚胺 摩擦
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 器件物理及器件制备技术
• 页码范围: 707-710
• 页数: 4页
• 分类号: TN87
• 字数: 2436字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20132805.0707

摘要

研究了TFT-LCD制造工艺中产生Zara Particle的影响因素.采用Mac/Mic,SEM,EDX等检测设备,对Zara点状不良进行了大量的实验测试、数据分析和理论研究工作,对其产生的原因提出了两种不同的理论观点.通过调整聚酰亚胺薄膜厚度和摩擦工艺参数等一系列措施,产品质量得到了很大的提高,Zara点状不良从改善前的21.2％降低到1.69％,大大提高了产品良率,为以后相关问题的研究奠定了一些理论基础.