(CoTaZr)_x(Al₂O₃)_1-x软磁纳米颗粒膜的制备与性能研究

• 作者: 何玉定 吴金明 杨元政 谢致薇 陈先朝
• 来源期刊: 材料科学
• 学科: 工学
• 关键词: 颗粒膜 CoTaZr 软磁特性 电阻率 射频溅射 饱和磁化强度
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 145-149
• 页数: 5页
• 分类号: TB3

摘要

采用射频磁控溅射法制备了一系列的(CoTaZr)x(Al2O3)1?x (x = 0.23,0.32,0.43)纳米颗粒膜,研究了溅射功率和气压对其软磁性能和微观组织结构的影响,结果表明,样品的电阻率随功率增大而递增,电阻率和饱和磁化强度都随气压先增大后减小,最佳溅射气压为2.5 Pa。磁性颗粒体积分数较高的样品具有较高的Ms,但电阻率相应较小,在x = 0.32时,试样的电阻率ρ为2.73 ±215;104 ±181;Ωcm,比饱和磁化强度Ms为56.8 emu/g。SEM分析结果表明,Al2O3颗粒均匀地分布在磁性颗粒之间。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢致薇	广东工业大学材料与能源学院	85	436	12.0	15.0
2	杨元政	广东工业大学材料与能源学院	123	648	13.0	20.0
3	陈先朝	广东工业大学材料与能源学院	59	180	7.0	10.0
4	何玉定	广东工业大学材料与能源学院	28	215	6.0	14.0
5	吴金明	广东工业大学材料与能源学院	2	1	1.0	1.0