微波消解-ICP-AES法同时测定多晶硅中磷、硼等12种杂质元素

• 作者: 刘明健 叶建龙 李镇祥 钟坚海 陈金凤
• 来源期刊: 检验检疫学刊
• 学科: 化学
• 关键词: 微波消解 ICP-AES法 多晶硅 磷 硼 杂质元素
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: O657.31

摘要

建立了微波消解-ICP-AES法同时测定多晶硅中磷、镍、钴、硼、铁、镁、铬、铝、钒、铜、钛、钇12种杂质元素含量的方法,避免了传统湿法消解过程中导致的硼元素损失。采用耐氢氟酸进样系统直接进样,无需加热赶酸,极大地提高了分析效率。采用标准加入法定量,克服了硅的基体干扰,各元素的检出限在0.002-0.04μg/mL范围内,加标回收率为94.5%-106.5%,相对标准偏差（n=3）为0.2%-3.3%。