微纳米三坐标测量机驱动与控制系统的研究

• 作者: 宫二敏 张维富 徐从裕 韩彬 黄强先
• 来源期刊: 新型工业化
• 学科: 工学
• 关键词: 精密仪器及机械 纳米三坐标测量机 压电直线电机 反馈控制
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 科研通讯
• 页码范围: 78-85
• 页数: 8页
• 分类号: TH711
• 字数: 885字
• 语种: 中文

摘要

本文主要介绍了纳米三坐标测量机的驱动系统.纳米三坐标测量机是一个十分复杂的系统,包括复杂的机械结构,精密的信号处理系统,灵敏的测头系统,精密的驱动系统以及其他的系统和模块.在本研究系统中,基于DVD读取头的新型的三维测量测头应用于三维测量以及定位.三个压电线性电机作为纳米三坐标测量机的驱动电机.机械机构的运动平台按照特殊的原理设计,可以最大化的消除阿贝误差.长度测量系统采用了激光回馈干涉仪.所提出的驱动与控制策略,可以实现长距离纳米级精度的快速精密驱动以及定位.X、Y、Z三个方向上的行程为50am×50am×50mm.目前,本系统可以实现对不定距离的单方向的快速稳定的逼近,并有效防止过冲.在一维内,不同位置点的定位波动可以被控制在士4砌左右.经过目前的测试,本系统适用于纳米三坐标测量机的驱动与控制任务.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐从裕	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	29	88	6.0	8.0
2	黄强先	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	46	319	9.0	15.0
3	韩彬	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	13	2.0	3.0
4	宫二敏	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	35	2.0	2.0
5	张维富	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	2	1.0	1.0