样品高度对XPS测试的影响

• 作者: 刘芬 章小余 赵志娟
• 来源期刊: 分析测试技术与仪器
• 学科: 化学
• 关键词: 样品高度 Al靶微聚焦单色器 X射线光电子能谱
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 244-246
• 页数: 3页
• 分类号: O657.32
• 字数: 1965字
• 语种: 中文

摘要

采用Al靶微聚焦单色器光电子能谱仪进行XPS测试时,如果样品高度选择不好,会导致测得的光电子峰强度降低.而对于一些电子结合能较高的元素,其光电子峰会变宽,有时出现双峰.分析了该现象的原因是X射线光斑、电子中和枪中和区域以及光电子能量接收区域没有聚焦于同一点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘芬	中国科学院化学研究所	35	278	8.0	15.0
2	赵志娟	中国科学院化学研究所	11	154	4.0	11.0
3	章小余	中国科学院化学研究所	1	3	1.0	1.0