用空间载频法测量玻璃平板的厚度均匀性

• 作者: 朱猛 李宏跃 蔡怀宇 黄战华
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉测量 玻璃平板检测 厚度测量 傅里叶变换法 空间载频
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 260-266
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1|TB92
• 字数: 3144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132102.0260

摘要

设计了一种基于迈克耳逊干涉光路的相位测量系统,将单臂作为检测端完成了对玻璃平板厚度均匀性的直接测量和分析.该系统由CCD采集干涉图样,利用傅里叶变换条纹分析术和相位解包裹技术提取干涉图中所包含的待测相位信息；对于傅里叶变换法中频谱旁瓣中心无法准确定位的问题,采用三角变换法去载频,从而不需要准确地得知频谱旁瓣的中心位置就可以计算出相位结果,消除了人为估算和垂轴方向上的微小载频分量给测量结果带来的误差.实验测量了多块玻璃平板的厚度均匀性.测量结果显示:使用像元大小为4.65 μm×4.65μm的CCD相机,测量玻璃平板两表面在长度方向和宽度方向上的厚度均匀性的理论精度分别达到0.93％和0.92％,表明本系统基本满足玻璃平板厚度均匀性测量的要求,且对干涉图频谱旁瓣的定位精度和载频的方向精度要求较低.