α粒子能损法测量薄膜厚度的准确性和灵敏度

• 作者: 吴丽萍 吴卫东 周厚全 徐家云 白立新
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: α粒子 能损法 能量损失率 准确性 灵敏度
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 495-497
• 页数: 3页
• 分类号: O571.33
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2005.06.005

摘要

采用分层计算方法分析用α粒子能损法测量薄膜厚度的准确性与分层层数的关系.此关系表明,采用分层计算可使准确性提高30%.另外,分析了膜厚测量的灵敏度随α粒子能量或随薄膜厚度的变化关系,并根据这一关系提出了提高膜厚测量灵敏度的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐家云	四川大学物理科学与技术学院	48	252	8.0	14.0
2	白立新	四川大学物理科学与技术学院	48	338	10.0	17.0
3	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
4	吴丽萍	四川大学物理科学与技术学院	30	208	8.0	12.0
5	周厚全	四川大学物理科学与技术学院	9	72	5.0	8.0