用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法

• 作者: 宋佳玲 张敏超 徐家云 王力 许佳 马小军 黎刚
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: α粒子 能量损失 真空度确定方法 薄膜厚度
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 117-121
• 页数: 5页
• 分类号: O571.6
• 字数: 2876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.151259

摘要

用α能损法测量薄膜厚度及其厚度分布的均匀性是一种有效的新方法,但这种测量必须在真空室内进行,如何恰当地选择真空度对于提高测量精度和降低真空系统的建造成本都具有重要意义.通过采用SRIM软件模拟5.486 MeVα粒子在空气中的阻止本领,计算出在不同真空度时,从241Am源发出α粒子穿过不同距离达到探测器时的能量损失,得到α粒子能量损失与真空度的关系.根据这一关系,结合所建α能谱仪在测量过程中的稳定性和重复性,建立了用α粒子测量薄膜厚度所需真空度的确定方法,并用这一方法得到了在源与探测器距离为2～8 cm时,小于100 Pa的真空度能完全满足测量要求的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐家云	四川大学物理系	48	252	8.0	14.0
2	马小军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	36	107	5.0	8.0
3	王力	四川大学物理系	26	44	4.0	6.0
4	许佳	四川大学物理系	13	15	2.0	3.0
5	宋佳玲		1	0	0.0	0.0
6	黎刚	四川大学物理系	2	0	0.0	0.0
7	张敏超	四川大学物理系	2	0	0.0	0.0