烧结温度及掺杂TiO2对ZnO气敏性能的影响

• 作者: 任琳 田润澜 陈超 齐兴龙
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO VOC气体传感器 溶胶凝胶法 TiO2掺杂
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 7-9,28
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 3036字
• 语种: 中文

摘要

通过溶胶-凝胶法制备ZnO凝胶,在300℃预烧结.为了得到不同尺寸的ZnO粉体,并对ZnO粉体进一步纯化,将预烧粉体在不同温度,500℃、700℃、900℃下缓慢烧结,最后将所得粉体涂附在陶瓷管上,在450℃下烧结制备成气敏元件.测试所得的气敏元件对丙酮、乙醇、甲苯这些VOC气体的灵敏性.实验结果表明,500℃下烧结的粉体所作成的器件,对气体具有最大的灵敏度,其原因为随着烧结温度的增加,ZnO的颗粒变大,从而限制了固体与气体的反应面积.再以TiO2材料为掺杂剂,研究掺杂后元件的气敏特性.乙醇和甲苯的最佳工作电流得到了降低,这一现象,将有助于降低器件的工作温度,这也是目前研究ZnO气体传感器主要需要解决的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田润澜	空军航空大学信息对抗系	44	114	5.0	8.0
2	陈超	空军航空大学信息对抗系	12	146	7.0	12.0
3	齐兴龙	空军航空大学信息对抗系	12	28	3.0	5.0
4	任琳	空军航空大学信息对抗系	2	3	1.0	1.0