ZnO掺杂TiO2厚膜的sol-gel法制备及气敏特性研究

• 作者: 刘玉岭 张东岭 潘国峰 王娜 高净
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 气敏传感器 sol-gel法 TiO2厚膜 灵敏度 退火温度
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与试剂
• 页码范围: 35-39
• 分类号: TP212
• 字数: 4875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.10.010

摘要

利用钛酸丁酯与无水乙醇的水解反应制备了纳米TiO2厚膜,并对其进行了不同含量的ZnO掺杂和不同温度的退火.通过XRD和SEM对所制备的ZnO-TiO2纳米粉的物相结构和表面微观形貌进行了表征,利用气敏元件测试系统对用其制备的气敏元件的气敏特性进行了检测,研究了ZnO的掺杂量和退火温度对TiO2厚膜气敏性能的影响,并对TiO2厚膜的气敏机理进行了讨论.结果表明:ZnO的掺杂有效地抑制了TiO2晶粒的生长,于700℃退火、w(ZnO)=4％的ZnO-TiO2的结晶粒径为15.9 nm,其对氨水蒸气的最高灵敏度达到9 354左右,响应和恢复时间均为1s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉岭	河北工业大学信息工程学院	263	1540	17.0	22.0
2	张东岭		11	16	3.0	3.0
3	潘国峰	河北工业大学信息工程学院	70	462	10.0	18.0
4	王娜	河北工业大学信息工程学院	22	125	6.0	10.0
5	高净	河北工业大学信息工程学院	2	4	1.0	2.0