隔热背腔式柔性热膜探头的设计及其微加工

• 作者: 朱鹏飞 邓进军 郝日鹏 马炳和
• 来源期刊: 航空工程进展
• 关键词: 柔性热膜 隔热背腔 仿真 微加工
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 327-332
• 页数: 6页
• 分类号: TP212|V261
• 语种: 中文

摘要

为了进一步提高器件性能,设计一种新型隔热背腔式柔性热膜传感器探头结构.借助流体传热耦合仿真和动态响应分析等,确定背腔结构参数；研发针对隔热背腔式柔性热膜探头的双面图形化微加工工艺,获得新型传感器件.对静/动态特性进行对比测试,结果表明:在相同的输入被测量情况下,新结构器件的输出信号量值提高了20％,时间常数由400 μs减小到220μs,器件的灵敏度和动态响应性能都获得了有效提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马炳和	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	33	167	7.0	11.0
2	朱鹏飞	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	14	43	3.0	6.0
3	邓进军	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	18	57	4.0	6.0
4	郝日鹏	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0