掺铝氧化锌的工艺参数对Low-E面电阻的影响

• 作者: 陈波
• 来源期刊: 上海建材
• 关键词: ZnAlO 磁控溅射 面电阻
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 玻璃及深加工
• 页码范围: 26-27
• 页数: 2页
• 字数: 2261字
• 语种: 中文

摘要

通过改变ZnAlO靶的氧气量以及溅射功率,测量Low-E膜层面电阻的变化,分析掺铝氧化锌薄膜对低辐射镀膜玻璃面电阻的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波		1	0	0.0	0.0