Al2O3薄膜的制备方法及其在太阳电池上的应用

• 作者: 安家才 廖华 李石周 梅凤娇 王建秋
• 来源期刊: 云南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铝薄膜 钝化 减反射 制备方法 太阳电池
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 可再生能源研究
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: TK515
• 字数: 3783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7699/j.ynnu.ns-2013-020

摘要

氧化铝薄膜因对晶体硅材料具有理想的钝化效果,在晶体硅太阳电池领域被认作是一种优良的减反射材料.概述了氧化铝薄膜的钝化特性,主要制备方法等研究现状.分析认为:磁控溅射法具有成膜均匀性好、质量高、沉积速率快、成本低、易控制等诸多优势,因此该方法在太阳电池的工业化领域具有广阔的应用前景.