金刚石合成过程中电压和功率等加热参数的控制

• 作者: 冯春华 杨君 王贵亭 郑振凯
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 有效功率 电阻变化量 有效功率变化量
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 71-73,79
• 分类号: TQ164
• 语种: 中文

摘要

为优化金刚石合成过程,计算了当合成腔电阻不稳定时,合成腔有效功率随电阻变化的变化量.并根据计算出的公式对恒电压、恒功率和恒电流等三种加热控制方式的优劣进行了比较.结论是多数情况下,电压法优于恒功率法,恒功率法优于恒电流法.计算出恒电压和恒功率加热控制方法的微调公式,并根据此公式微调电压(或电流/功率),以补偿合成腔的温度漂移,可以使合成腔的温度趋于一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨君	中石化胜利石油工程有限公司钻井工艺研究院	1	0	0.0	0.0
2	王贵亭	中石化胜利石油工程有限公司钻井工艺研究院	1	0	0.0	0.0
3	冯春华	中石化胜利石油工程有限公司钻井工艺研究院	1	0	0.0	0.0
4	郑振凯	中石化胜利石油工程有限公司钻井工艺研究院	1	0	0.0	0.0