氮化铜薄膜制备中氮气比例对其结构及微观力学性能的影响

• 作者: 丁建宁 凌智勇 程广贵 范真 袁宁一 龚鹏
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铜薄膜 射频磁控溅射 微结构 纳米力学
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 15-18,31
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备氮化铜薄膜,研究了氮氩混合气体中的氮气比例对薄膜择优生长取向、表面晶粒尺寸和微观力学性能的影响.结果表明:低氮气比例时,薄膜的纳米力学性能比较差；随着氮气比例的增加,氮化铜薄膜的择优生长晶面从(111)晶面转变为(100)晶面,晶粒尺寸变小,显微硬度增加,弹性模量则是先增加,后减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	凌智勇	江苏大学微纳米研究中心	54	400	12.0	17.0
2	丁建宁	江苏大学微纳米研究中心	146	769	14.0	19.0
4	范真	江苏大学微纳米研究中心	61	532	11.0	20.0
6	程广贵	江苏大学微纳米研究中心	48	176	8.0	12.0
9	袁宁一	常州大学低维材料微纳器件与系统中心	35	38	4.0	5.0
12	龚鹏	江苏大学微纳米研究中心	1	3	1.0	1.0