纳米银导电图形薄膜的数字化微打印

• 作者: 侯丽雅 王洪成 章维一
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 印刷电路板 微流体数字化 微打印 纳米银 氧化还原反应 导电图形薄膜
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 236-241,247
• 分类号: TB43|TS803.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.04.008

摘要

采用以脉冲为微流动基本形态、脉冲当地惯性力为主动力的微流体数字化技术进行纳米银导电图形薄膜微打印实验研究.在搭建的基于微流体数字化技术的纳米银导电图形薄膜微打印系统上,将水合肼溶液数字化微打印在涂有AgNO3-PVP溶液的玻璃基上形成纳米银悬浮液液线,再经高温烧结后形成纳米银导电图形薄膜.通过实验研究,微打印出了厚度约为3 μm、最小线宽约20 μm且最小电阻率达2.5μΩ·cm(相当于块状金属银电阻率的1.6倍)的纳米银导电图形薄膜.从实验过程可以看出,采用微流体数字化技术进行导电图形薄膜的微打印具有工艺简单、成本低廉、薄膜线宽小和导电性能优越等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯丽雅	南京理工大学机械工程学院	96	977	17.0	26.0
2	章维一	南京理工大学机械工程学院	85	832	16.0	24.0
3	王洪成	南京理工大学机械工程学院	8	58	5.0	7.0