飞秒激光对硅表面微构造的研究进展

• 作者: 闫珂柱 韩培高 高胜淼
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 飞秒激光 硅 脉冲 发光特性
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 12-18
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/LOP50.110002

摘要

综述了飞秒激光对硅表面微构造的研究进展.阐述了超短脉冲诱导硅材料表面深亚波长结构的形成机理,讨论了飞秒激光作用硅表面制备微纳结构的影响因素和该微纳结构的发光特性,介绍了飞秒激光诱导硅材料表面微纳复合结构的生物仿生特性.揭示了飞秒激光在微结构制备方面的广泛应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫珂柱		24	73	5.0	7.0
2	韩培高		15	1	1.0	1.0
3	高胜淼		1	0	0.0	0.0