飞秒激光微构造硅光电二极管的光电响应

• 作者: 冯国进 李媛 赵利
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 飞秒激光微构造硅 光电二极管 响应度 退火 尖峰高度
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 综 述
• 页码范围: 111003-1-111003-4
• 页数: 1页
• 分类号: O472
• 字数: 2069字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.160073

摘要

在一定条件 SF6气体氛围中，硅可在飞秒激光辐照区产生μm 量级的尖峰结构。针对不同尖峰高度的微构造硅，在不同温度下退火，采用电子蒸发的方法在正反面分别镀上铝电极，制备出了飞秒激光微构造光电二极管，并测试了其光电响应。实验结果表明：飞秒激光微构造光电二极管的响应随微构造硅光电二极管的尖峰高度和退火温度的不同而不同。尖峰高度为3~4μm 的样品在973 K 温度退火30 min 后，响应度可达0.55 A/W。即使在1100 nm 波长处，这种新型的硅光电二极管的响应仍可高达0.4 A/W。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵利	复旦大学物理系应用表面物理国家重点实验室	7	84	3.0	7.0
2	冯国进	中国计量科学研究院光学与激光计量科学研究所	25	92	4.0	9.0
3	李媛	运城学院物理与电子工程系	3	0	0.0	0.0