硅材线锯切割过程中的温度分析

• 作者: 姚春燕 彭伟 徐宗华 李晓佳 陈思源
• 来源期刊: 机械设计与制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 硅材切割 流固耦合 温度分析
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 应用研究
• 页码范围: 66-69,73
• 页数: 5页
• 分类号: TP319
• 字数: 2135字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-509X.2013.03.015

摘要

为了更有效地控制硅材在线锯切割过程中因温度变化而引起的材料翘曲变形,采用流体力学的前处理软件建模及对模型进行网格划分,对硅材与磨浆的流固耦合系统的温度进行了CFD分析,此外还分析了磨浆进口速度和进口温度对硅材温度分布的影响.结果表明,硅材和磨浆的温度在线走丝方向上逐渐升高,到出口附近最高,增大磨浆的进口速度或减小磨浆的进口温度,有利于降低硅材在切割过程中的温度.