极紫外Mg/SiC、Mg/Co多层膜的稳定性

• 作者: 丁涛 宋竹青 朱京涛 李浩川 马爽
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 极紫外多层膜 多层膜反射镜 稳定性 湿度
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1380-1386
• 页数: 7页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3044字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132106.1380

摘要

采用磁控溅射法在Si(100)基底上镀制了膜系结构分别为[Mg/Co]20、[Mg/SiC]20的两组多层膜,以研究Mg基多层膜的稳定性.对放置在室温和80％相对湿度环境下的样品进行显微镜、表面粗糙度和X射线掠入射反射率测试,对比研究了Mg/Co和Mg/SiC两种多层膜结构在相同环境中的损坏状况.对比结果显示:放置4天后,Mg/SiC损坏面积为26.34％,表面粗糙度为10 nm; Mg/Co的损坏面积为2.78％,表面粗糙度为5 nm.6天后,X射线掠入射反射率测量显示Mg/SiC多层膜一级反射峰完全消失,而Mg/Co多层膜的一级反射峰仍有47.63％的反射率.实验表明,Mg/Co多层膜的表面层和内部多层膜结构的损坏速度较Mg/SiC慢,具有较好的环境稳定性.另外,X射线光电子谱(XPS)测试Mg基多层膜损坏后的产物主要为MgCO3、Mg(OH)2和少量的MgO,且内层Mg(OH)2与MgCO3含量的比值显著高于表面层.分析认为,水汽是造成Mg基多层膜损坏的主要原因,今后Mg基多层膜保护层的研究可主要针对如何防止水汽进入膜层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁涛	同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所	2	5	1.0	2.0
2	朱京涛	同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所	16	94	4.0	9.0
3	马爽	同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所	7	6	1.0	2.0
4	宋竹青	同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所	2	15	2.0	2.0
5	李浩川	同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所	4	5	1.0	2.0