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不同本底真空度下SiC/Mg极紫外多层膜的制备和测试
不同本底真空度下SiC/Mg极紫外多层膜的制备和测试
作者:
周洪军
徐敬
朱京涛
王占山
王晓强
白亮
蒋晖
陈玲燕
霍同林
黄秋实
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
极紫外光学
本底真空度
多层膜
反射率
磁控溅射
摘要:
为研究不同本底真空度对SiC/Mg极紫外多层膜光学性能的影响,利用直流磁控溅射方法在不同本底真空度条件下制备了峰值反射波长在30.4 nm的SiC/Mg周期膜.X射线掠入射反射测试结果表明,不同本底真空度条件下制备的SiC/Mg周期多层膜膜层质量有明显差异.用同步辐射测试了SiC/Mg多层膜在工作波长处的反射率,结果表明,本底真空度为6.0×10~(-5) Pa时,SiC/Mg周期膜反射率为43%,而本底真空度在5.0×10~(-4) Pa时,SiC/Mg多层膜反射率仅为30%.同步辐射反射曲线拟合结果表明,反射率随着本底真空度降低是由多层膜Mg膜层中的Mg氧化物含量增多造成的.
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磁控溅射
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本底真空度
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文献信息
篇名
不同本底真空度下SiC/Mg极紫外多层膜的制备和测试
来源期刊
光学精密工程
学科
物理学
关键词
极紫外光学
本底真空度
多层膜
反射率
磁控溅射
年,卷(期)
2009,(12)
所属期刊栏目
现代应用光学
研究方向
页码范围
2946-2951
页数
6页
分类号
O484.1
字数
2643字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-924X.2009.12.011
五维指标
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极紫外光学
本底真空度
多层膜
反射率
磁控溅射
研究起点
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研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:
The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:
http://www.863.org.cn
项目类型:
重点项目
学科类型:
信息技术
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