Cu薄膜生长初期的计算机模拟

• 作者: 刘楠 孙瑶 李野 王新 端木庆铎 赵长春
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: Monte Carlo模型 Cu薄膜 计算机模拟
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 301-304
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1610字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7694/jdxblxb20130231

摘要

基于Monte Carlo模型,在理想基底上设置100×100的二维方形格,利用周期性边界条件建立Cu薄膜初期生长模型,并模拟粒子的气相沉积过程及迁移步数对薄膜生长的影响规律.结果表明:当沉积粒子数逐渐增加时,基底表面的粒子团簇结构逐渐增大；在温度不变的条件下,随着最大迁移步数的增加,团簇逐渐增大,团簇数量逐渐减小,且团簇分布逐渐稀疏；温度升高使粒子聚集为岛状,薄膜呈岛状生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李野	长春理工大学理学院	68	297	9.0	13.0
2	端木庆铎	长春理工大学理学院	56	241	8.0	12.0
3	王新	长春理工大学理学院	42	87	5.0	6.0
4	孙瑶	长春理工大学理学院	3	8	2.0	2.0
5	刘楠	长春理工大学理学院	2	8	2.0	2.0
6	赵长春	长春理工大学理学院	1	3	1.0	1.0