亚波长金属光栅结构的制备与矢量衍射理论分析

• 作者: 徐林华 曹焜 詹煜 郑改革
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 亚波长金属光栅 纳米压印 表面等离子体
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 发光学应用及交叉前沿
• 页码范围: 935-939
• 页数: 5页
• 分类号: O439
• 字数: 2478字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20133407.0935

摘要

利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了周期为1μm、占空比为0.2的亚波长金属光栅,利用紫外-可见-近红外光谱仪测量了光栅的0级反射光谱.在严格耦合波分析的基础上,把光栅区域电磁场的空间谐波通过勒让德多项式展开,使用多项式展开的谱分析法求解常微分方程,计算了该亚波长金属光栅的反射光谱及磁场分布.实验测量结果同矢量衍射理论计算结果都显示,该光栅在近红外、中红外波段具有表面等离子体共振现象.数值计算结果还表明,对于此类亚波长金属光栅,当光栅的深宽比增加时,其反射光谱中会出现更多的反射谷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑改革	南京信息大学物理与光电工程学院	16	39	4.0	5.0
2	徐林华	南京信息大学物理与光电工程学院	11	29	3.0	5.0
3	詹煜	南京信息大学物理与光电工程学院	12	33	4.0	5.0
4	曹焜	南京信息大学物理与光电工程学院	2	8	1.0	2.0