亚波长闪耀光栅矢量衍射效率计算

• 作者: 曹艳波 艾华
• 来源期刊: 中国光学与应用光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 闪耀光栅 衍射效率 矢量衍射 严格耦合波分析
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 679-683
• 分类号: O436.1
• 字数: 1925字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2010.06.023

摘要

将矢量衍射数值算法-严格耦合波分析用于精确计算亚波长闪耀光栅的衍射效率,并分析其衍射特性.建立了闪耀光栅的电磁介质模型,并将楔形不规则结构简化为多层矩形光栅结构,通过电磁场的介质分布建立严格耦合波方程.根据边界条件求解出各层的电磁场分布,再通过增透矩阵方法将各层电磁场依次迭代,求解出了整个结构的衍射效率.计算分析显示,对闪耀角为11.3°、周期为500 nm的金属铝闪耀光栅可以得到高于90%的衍射效率和相应的闪耀级次.实验表明这种矢量衍射数值算法具有较高的准确性,可以推广应用于高致密刻线复杂光栅的衍射计算分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	艾华	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	28	363	10.0	18.0
2	曹艳波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	30	3.0	5.0