紫外全息闪耀光栅的制作

• 作者: 巴音贺希格 李文昊 谭鑫 齐向东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 闪耀光栅 紫外光栅 衍射效率 刻蚀模拟
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 1536-1542
• 分类号: O436.1|TN305
• 字数: 2951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101807.1536

摘要

通过理论计算研究了影响闪耀光栅衍射效率的因素,并利用离子束刻蚀模拟程序模拟刻蚀闪耀光栅来确定闪耀光栅的制作参数.以理论计算的闪耀光栅参数为依据,以刻蚀模拟程序为指导,基于全息-离子束刻蚀工艺制作了闪耀波长分别为250 nm和330 nm,光栅尺寸分别为85 mm×85 mm,60 mm×60 mm,线密度均为1 200 lp/mm的闪耀光栅.第一种光栅闪耀角为8.54°,非闪耀角为72°,其250 nm波长自准直入射时的-1级衍射光衍射效率约为81%;第二种光栅闪耀角为11.68°,非闪耀角为74°,330 nm波长自准直入射时的-1级衍射光衍射效率约为80%.实验结果表明,提出的方法可以在制作闪耀光栅的过程中实现对闪耀角的精确控制,获得的实验结果与理论计算结果符合较好.利用该方法能够在大尺寸基底上获得衍射效率＞75%的紫外闪耀光栅.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴音贺希格	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	112	817	16.0	23.0
2	李文昊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	144	7.0	11.0
3	齐向东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	61	630	16.0	22.0
4	谭鑫	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	55	4.0	7.0