摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅

• 作者: 巴音贺希格 沈晨 王琼 谭鑫 齐向东
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 凸面闪耀光栅 摆动刻蚀 衍射效率 成像光谱仪
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 3-11
• 页数: 9页
• 分类号: TH744.1|O433.1
• 字数: 4687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201931.180298

摘要

通过摆动离子束刻蚀方法,制作了用于短波红外高光谱成像光谱仪的凸面闪耀光栅.该方法通过在光栅子午方向上进行摆动刻蚀,解决了凸面光栅子午方向的闪耀角一致性问题.建立了摆动刻蚀模型来分析摆动速度、束缝宽度等工艺参数对槽型演化的影响,并计算了优化的刻蚀工艺参数.制备了基底尺寸为67 mm,曲率半径为156.88 mm,刻线密度为45.5 gr/mm,闪耀角为2.2°的凸面闪耀光栅,并对其表面形貌及衍射效率进行了测量.实验结果表明,摆动刻蚀法能够制作出闪耀角一致性好、衍射效率高的小闪耀角凸面光栅,满足成像光谱仪对光谱分辨率和便携性的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴音贺希格	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	112	817	16.0	23.0
2	齐向东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	61	630	16.0	22.0
3	谭鑫	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	55	4.0	7.0
4	沈晨	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	2	1.0	1.0
8	王琼	中国工程物理研究院流体物理研究所	1	0	0.0	0.0