结合金属膜的YZ-LiNbO3压电基片上声表面波陀螺效应分析

• 作者: 王文 邵秀婷
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 陀螺效应 陀螺仪 金属点阵
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 315-318
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2918字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.03.004

摘要

在声表面波陀螺效应作用过程中,由于哥氏力的作用比较微弱,导致现有的声表面波陀螺仪的检测灵敏度极低.为了改善哥氏力作用,在声表面波传播路径上分布金属点阵以增加质量负载,将有可能获得良好的灵敏度性能.本文结合研究层状介质中声波传输特性的方法对YZ-LiNbO3压电基片上的金属膜层对陀螺效应的影响做了理论计算.对比分析有无金属膜层的压电基片中陀螺效应的大小,以及不同金属材料对陀螺效应的影响作用,验证了用布置重金属点阵的方法来提高行波模式声表面波陀螺仪检测灵敏度的可行性,从而为高性能行波模式声表面波陀螺仪的研制奠定理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文	中国科学院声学研究所	81	464	12.0	18.0
2	邵秀婷	中国科学院声学研究所	3	4	1.0	2.0